웨이퍼 래핑용 친환경 실리콘 카바이드
녹색 탄화규소는 웨이퍼 래핑에 사용되는 주요 연마재입니다. 높은 가공 효율, 낮은 표면 손상, 안정적인 성능 및 뛰어난 비용 효율성을 결합하여 태양광 및 반도체 실리콘 웨이퍼의 래핑 및 준정밀 연마에 널리 적용됩니다.
녹색 탄화규소는 웨이퍼 래핑에 사용되는 주요 연마재입니다. 높은 가공 효율, 낮은 표면 손상, 안정적인 성능 및 뛰어난 비용 효율성을 결합하여 태양광 및 반도체 실리콘 웨이퍼의 래핑 및 준정밀 연마에 널리 적용됩니다.
녹색 탄화규소 분말은 높은 경도, 균일한 입자 크기 및 뛰어난 화학적 안정성을 특징으로 합니다. 높은 연마 효율, 매우 매끄러운 웨이퍼 표면 및 낮은 표면 아래 손상을 제공하여 실리콘 웨이퍼 연마에 이상적인 연마재입니다.
고순도 GC 미세 분말을 탈이온수 또는 PEG 캐리어 용액과 혼합하여 현탁 연마 슬러리를 만듭니다. 래핑 플레이트와 실리콘 웨이퍼 사이의 압력 하에서 GC 입자는 실리콘 표면을 롤링하고 미세하게 절삭하여 불규칙한 돌출부를 고르게 제거함으로써 결정 격자의 깊은 파괴 없이 평탄화를 실현합니다.
흑색 SiC 미세분말의 장점 흑색 탄화규소 미세분말 (α-SiC, SiC ≥98.5%)은 육각형 흑색 결정질 미세분말(0.5–60 μm)입니다. 녹색 탄화규소, 용융 알루미나 및 기타 연마재와 비교하여 종합적으로 우수한 특성을 가지고 있습니다. –탁월한 기계적 마모 성능 초고경도 : 모스 경도 9.15~9.2, 백색/갈색 용융 알루미나보다 날카로운 절삭날, 빠른 재료 제거 속도. 높은 인성 및 우수한 자가 연마 기능 : 녹색
흑색 탄화규소(Black SiC, BSiC)는 높은 경도, 높은 융점, 뛰어난 내마모성, 내식성 및 고온 안정성으로 인해 야금 분야에서 널리 사용되는 고성능 산업 소재입니다.
녹색 탄화규소(Green SiC)는 고품질 석영 모래, 석유 코크스 및 산업용 소금을 고온 전기로에서 제련하여 생산되는 고순도 합성 연마재입니다. 날카롭고 각진 입자로 이루어진 녹색 결정 분말 또는 블록 형태로 나타납니다.