반도체 기판 연마용 녹색 실리콘 카바이드
녹색 탄화규소(SiC)는 뛰어난 경도(9.2~9.5 모스), 열적 안정성, 그리고 화학적 불활성으로 인해 반도체 기판 연마에 널리 사용되는 고순도 연마재입니다. 반도체 기판 연마에서 SiC의 역할에 대한 자세한 내용은 다음과 같습니다. 1. 연마용 Green SiC의 주요 특성 높은 경도 : 실리콘(Si), 갈륨비소화(GaAs), 사파이어와 같은 경질 재료의 정밀 연삭/연마에 효과적입니다. 날카로운 연마 입자 :