탄화규소(SiC) 는 뛰어난 열적, 기계적, 화학적 특성으로 인해 도가니 제조에 널리 사용됩니다 . SiC 도가니는 특히 금속 용융, 결정 성장(예: 실리콘 잉곳), 화학 처리와 같은 고온 응용 분야에서 높은 가치를 지닙니다 . 아래에서는 SiC 도가니의 장점, 유형, 제조 방법 및 용도를 포함한 자세한 개요를 소개합니다.
1. 도가니에 실리콘 카바이드를 사용하는 이유는 무엇입니까?
SiC 도가니의 주요 특성:
높은 열전도도 (~120 W/m·K) – 균일한 가열과 효율적인 열 전달을 보장합니다.
뛰어난 열충격 저항성 – 균열 없이 급격한 온도 변화를 견딜 수 있습니다.
높은 융점 (~2,700°C) – 극한 온도 공정에 적합합니다.
화학적 불활성 – 용융 금속(예: 알루미늄, 구리, 아연) 및 산성/알칼리성 환경으로 인한 부식을 방지합니다.
기계적 강도 – 경도(~9.5 모스)와 강성은 하중 하에서 변형을 방지합니다.
긴 사용 수명 – 많은 응용 분야에서 흑연이나 점토 흑연 도가니보다 내구성이 뛰어납니다.
2. SiC 도가니의 종류
(A) 소결 SiC(SSiC) 도가니
고순도 SiC 분말의 무압력 소결 또는 열간 압착을 통해 제조됩니다 .
장점 : 밀도가 높고, 기계적 강도가 뛰어나며, 열전도도가 우수합니다.
응용 분야 : 반도체 결정 성장(예: 실리콘 단결정), 고순도 금속 용해.
(B) 반응결합 SiC(RB-SiC) 도가니
다공성 탄소 프리폼에 용융 실리콘을 침투시켜 반응을 통해 SiC를 형성하여 생산됩니다.
장점 : SSiC보다 비용이 저렴하고, 열충격 저항성이 우수합니다.
단점 : 유리 실리콘(~8-15%)이 함유되어 있어 일부 환경에서는 내화학성이 감소합니다.
적용 분야 : 비철 금속 용해(예: 알루미늄, 황동).
(C) 점토 결합 SiC 도가니
SiC 입자와 점토 결합제를 혼합하여 구운 것입니다.
장점 : 가격이 저렴하고, 제조가 용이합니다.
단점 : 순수 SiC에 비해 열전도도와 강도가 낮음.
응용 분야 : 비철 금속을 녹이는 주조소.
3. SiC 도가니 제조 공정
분말 제조 : 고순도 SiC 분말을 선택합니다(일반적으로 소결에는 α-SiC를 사용).
형성 :
등방성 프레싱 (SSiC용) 또는 슬립 주조 (RB-SiC용).
점토 결합 도가니의 경우 전통적인 압착이나 압출이 사용됩니다.
소결/반응결합 :
SSiC : 불활성 분위기에서 약 2,000°C에서 소결됨.
RB-SiC : 실리콘과 접촉하여 약 1,600°C까지 가열됩니다.
가공 및 마무리 : 정밀한 치수로 연삭합니다.
품질 관리 : 밀도, 다공성, 열충격 저항성 테스트.
4. SiC 도가니의 응용 분야
산업 | 애플리케이션 | 선호하는 SiC 유형 |
---|---|---|
야금 | 알루미늄, 구리, 아연 합금 용해 | RB-SiC, 점토 결합 |
반도체 | 실리콘/갈륨비소화물 결정 성장 | SSiC(고순도) |
보석/유리 | 귀금속 주조, 유리 용해 | RB-SiC, SSiC |
화학적인 | 부식성 화학 반응 | SSiC(고저항) |
5. 다른 도가니 재료와의 비교
재료 | 최대 온도 | 열충격 | 내화학성 | 비용 |
---|---|---|---|---|
SiC(SSiC) | ~2,700°C | 훌륭한 | 훌륭한 | 높은 |
석묵 | ~3,000°C | 좋은 | 불량(공기 중에서 산화됨) | 중간 |
알루미나(Al₂O₃) | ~1,800°C | 보통의 | 좋은 | 낮은 |
석영 | ~1,200°C | 가난한 | 훌륭하지만 (취약함) | 중간 |
→ 높은 열충격 저항성과 내구성이 중요한 경우에는 SiC가 선호됩니다.