친환경 탄화규소 소개:
녹색 탄화규소( Green SiC , 화학식 SiC )는 고순도 합성 결정질 연마재로, 극도의 경도, 날카로운 절삭날, 그리고 탁월한 화학적/열적 안정성으로 잘 알려져 있습니다. SiC 소재 중 최고급 등급으로, 산업용 연마재의 “녹색 다이아몬드”라고 불리기도 합니다.
| 재산 | 녹색 탄화규소 |
|---|---|
| 화학식 | SiC |
| 청정 | 98.5–99.5% SiC (고급형 ≥99.9%) |
| 모스 경도 | 9.2–9.5 (다이아몬드에 가까움) |
| 미세경도 | 3200–3600 kg/mm² |
| 밀도 | 3.22 g/cm³ |
| 열전도율 | 80~140 W/m·K (탁월한 열 방출 성능) |
| 열팽창 | 낮은 |
| 녹는점 | 약 2700°C |
| 화학적 안정성 | 물, 산, 알칼리 및 대부분의 용매에 대해 불활성입니다. |
| 입자 모양 | 날카롭고, 각지고, 다면체 모양이며, 자체 연마 기능이 우수함 |
웨이퍼 래핑에 있어 친환경 탄화규소의 장점
- 탁월한 경도 및 절삭 성능모스 경도 9.2~9.5의 녹색 탄화규소는 단결정 실리콘보다 훨씬 단단합니다. 날카로운 입자 모서리와 뛰어난 자가 연마 능력을 특징으로 하며, 높은 재료 제거율을 통해 웨이퍼 표면의 흠집과 손상된 층을 효율적으로 제거합니다.
- 균일한 입자 크기와 뛰어난 표면 품질엄격한 선별 과정을 거친 미세 분말은 입자 크기 분포가 좁고 응집 현상이 적습니다. 깊은 절단, 파손 또는 구멍 대신 미세하고 얕은 흠집을 생성하여 표면 아래 손상을 효과적으로 제어하고 일관된 연마 결과를 보장합니다.
- 탁월한 화학적 및 열적 안정성이 소재는 물, 일반적인 래핑 슬러리 및 산/알칼리 첨가제에 대해 화학적으로 불활성이며 실리콘 웨이퍼를 부식시키지 않습니다. 마찰열 하에서도 안정적인 경도와 입자 형태를 유지하며, 우수한 열전도율로 열을 빠르게 발산하여 웨이퍼의 열 변형을 방지합니다.
- 반도체 응용 분야에 적합한 고순도흑색 탄화규소에 비해 중금속 및 불순물 함량이 낮습니다. 전기적 오염을 유발하지 않아 반도체 및 태양광 웨이퍼 생산에 필요한 고순도 요구 사항을 완벽하게 충족합니다.
- 우수한 내마모성 및 비용 효율성마모 손실이 적어 수명이 연장됩니다. 다이아몬드 분말보다 훨씬 경제적이면서도 안정적인 연마 성능을 유지하여 대량 생산에 이상적입니다. 또한 슬러리에 잘 분산되어 유체 교체 빈도를 줄여줍니다.
- 적당한 강도균형 잡힌 취성과 인성으로 미세 입자가 웨이퍼 표면에 과도하게 박히는 것을 방지하여 후속 세척 공정을 간소화합니다. 단면/양면 래핑, 모서리 모따기 및 기타 공정에 사용되는 다양한 래핑 패드 및 장비와 호환됩니다.