그린 실리콘 카바이드(SiC)는 독특한 특성으로 인해 웨이퍼 연마에 널리 사용되며, 산화알루미늄이나 다이아몬드와 같은 다른 연마재에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다. 웨이퍼 연마에 그린 실리콘 카바이드를 사용할 경우의 주요 이점은 다음과 같습니다.
1. 높은 경도(모스 경도 ~9.3)
녹색 SiC는 산화 알루미늄(모스 약 9)보다 단단하고 탄화붕소(모스 약 9.5)만큼 단단하여 실리콘 웨이퍼, 사파이어, 세라믹과 같은 단단한 재료를 연마하는 데 매우 효과적입니다.
다이아몬드(모스 10)만큼 단단하지는 않지만, 다양한 용도에 있어 비용 효율적인 대안을 제공합니다.
2. 날카롭고 각진 연마 입자
연마하는 동안 입자가 쉽게 부서져 일관된 재료 제거율을 유지하는 새로운 절단 날이 형성됩니다.
이러한 자체 연마 특성으로 인해 연마 효율이 오래 지속됩니다.
3. 화학적 안정성 및 순도
Green SiC는 고순도(≥99%)로 합성되어 반도체 웨이퍼 처리 시 오염 위험을 최소화합니다.
이 제품은 많은 연마 환경에서 화학적으로 불활성이어서 웨이퍼 표면과의 원치 않는 반응을 줄여줍니다.
4. 제어된 표면 마무리
재료 제거 속도와 표면 매끄러움 사이의 균형을 제공하므로 거친 연마와 미세 연마 단계 모두에 적합합니다.
검은 SiC와 같은 거친 연마재에 비해 표면 아래 손상이 적습니다.
5. 열전도도 및 내열성
높은 열전도도는 연마 과정에서 열을 발산하는 데 도움이 되어 웨이퍼의 열 응력을 줄여줍니다.
고온에서 안정적이어서 고속 연마 중에도 분해가 일어나지 않습니다.
6. 비용 효율성
다이아몬드 연마재보다 저렴하면서도 다양한 웨이퍼 유형(예: 실리콘, 석영, 유리)에 대해 높은 성능을 제공합니다.
7. 응용 분야의 다양성
단결정 및 다결정 실리콘 웨이퍼와 광학 유리, 세라믹과 같은 비반도체 재료를 연마하는 데 사용됩니다.
자유 연마 슬러리와 고정 연마 패드 모두와 호환됩니다.
다른 연마재와의 비교
| 재산 | 그린 SiC | 블랙 SiC | 알루미나(Al₂O₃) | 다이아몬드 |
|---|---|---|---|---|
| 경도(모스) | 9.3 | 9.2 | 9.0 | 10 |
| 청정 | 매우 높음 | 보통의 | 높은 | 제일 높은 |
| 비용 | 보통의 | 낮은 | 낮은 | 매우 높음 |
| 최상의 사용 사례 | 미세 연마 | 거친 연삭 | 일반 연마 | 초정밀 |
결론
그린 실리콘 카바이드는 경도, 순도, 그리고 정밀한 재료 제거가 요구되는 웨이퍼 연마에 이상적입니다. 비용 효율적인 알루미나와 초고가 다이아몬드 연마재의 차이를 메워 반도체 및 광학 산업에서 선호되는 제품입니다.